1.壓力測量介紹
絕對壓力傳感器
差壓力傳感器
表壓力傳感器
2.壓力位移的轉換
位移轉換介紹
電容式氣囊
氧化鋁膜片
半導體膜片
單晶式壓力傳感器
3.壓力傳感器的規格與性能比較
規格
特性
壓力之測量
關于壓力的量測,可以分成三類:
(1) 絕對壓力的測量
(2) 表壓力的測量
(3) 差壓力的測量
絕對壓力所指的就是對應于絕對真空所測量到的壓力。
表壓力所指的就是對應于地區性大氣壓力所測量的壓力。
差壓力就是指兩個壓力源間的壓力差值。
如果有一壓力為絕對真空,則差壓力就等于絕對壓力;如果壓力為地區性大氣壓力,則差壓力就等于"表壓力"。
壓力的測量單位為巴司卡(pascal)(簡寫pa),它就相當于牛頓/米2。在工業應用上,還有其它不同的壓力單位;如Bar,psi(磅/吋2),大氣壓力,mmHg(水銀柱的上升高度以mm表示)以及cmH2O(水柱的上升高度以cm表示)。
傳感器的特性
1.測量的型態:
(1)絕對壓力
(2)差壓力
(3)表壓力
2.使用于:
(1)氣體
(2)液體
3.測量的范圍
4.試驗壓力
5.操作溫度
6.振動
8.線性度
9.靈敏度
10.穩定度
11.重復能力
12.遲滯性
13.激勵電壓
14.F.S.O(滿刻度輸出)
15.單位壓力的靈敏度
表格顯示了壓力傳感器的主要特性。注意,對于相同型式的傳感器操作范圍可以有所改變:很明顯的會影響到它們的價格。單晶式壓力傳感器可以測量到以數百計的大氣壓力范圍,然而其它型式的壓力傳感器可以測量到以數千計的大氣壓力范圍。
壓力傳感器的主要特性表:
種類 | 精確度 | 價格 | 結構 | 優點 | 缺點 | 應用場合 |
線性可變差動變壓器 | 一般 | 一般 | 復雜 | - | 高精度產品價格高 | 精度要求不高的場合 |
電位計式 | 一般 | 低 | 簡單 | 價格低 | 精度,可靠性低 | |
應變計式 | 優越 | 高 | 簡單 | 高精準度 | 相當貴 | 核子與海洋學 |
單晶電容式 | 理論上優越 | 相當高 | 復雜 | 優越穩定度及溫度依賴性 | 兩極棒距離有限 | 工業 |
單晶電阻式 | 良好 | 相當高 | 簡單 | 溫度穩定性 :優越線性度 | - | 工業 |
單晶半導體式 | 良好 | 低 | 熱補償時較復雜 | 尺寸小 | 對溫度個高靈敏度 | 工業 |
壓電式 | 優越 | 高 | 電荷放大器 | 高精準度 | 相當貴 | 聲音測量 |
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